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一、范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了氨的技術(shù)要求，試驗方法，檢驗規(guī)則及產(chǎn)品的包裝、標(biāo)志、運輸、貯存及安全要求。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體工業(yè)，氮化硅、氮化鎵的化學(xué)氣相淀積，也可用于硅或氧化硅的氮化。

分子式： NH3

二、技術(shù)要求

1、氨電子級產(chǎn)品的質(zhì)量應(yīng)符合表1的要求。

2、氨光電子級產(chǎn)品應(yīng)符合表2的要求，重金屬含量應(yīng)符合表3的規(guī)定。

三、氨氣安全要求

1、氨的生產(chǎn)、使用以及貯運應(yīng)符合《氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程》（2000年）、《壓力容器安全監(jiān)察規(guī)程》（1999年）等相關(guān)規(guī)定。

2、氨無色，有刺激臭味，能傷害人的眼睛和呼吸器官，在使用時應(yīng)注意防護，防止人身與氨接觸，以免燒傷。

3、氨的生產(chǎn)、使用應(yīng)有適當(dāng)?shù)奈矚馓幚淼拇胧苑乐拱睂Νh(huán)境的污染。

4、由于氨易溶于水，應(yīng)使用捕液器或止回閥防止倒吸，如發(fā)生倒吸，鋼瓶內(nèi)可能爆發(fā)猛烈反應(yīng)，除此之外，還有可能對鋼瓶造成嚴(yán)重腐蝕。任何意外的倒吸都應(yīng)及時報告供應(yīng)商。

5、氨可燃、易爆，它與空氣或氧氣混合有發(fā)生爆炸的危險。對于干燥的氨-空氣混合物，爆炸范圍約這含氨16%-25%。在下列三種情況下，爆炸范圍將擴大：混入其他可燃氣體，如氫；用氧代替空氣；溫度升高，壓力高于大氣壓力。

6、在使用氨的環(huán)境中不能有明火。

7、氨氣瓶應(yīng)貯存在不易起火的地方；運輸及搬運時避免受沖擊、跌落和陽光照射。